基于液相法的SiC材料研究认知 相关话题

CIAS2024功率半导体新动力革命发展大会 2024年4月23-24日，CIAS2024功率半导体新动力革命发展大会于苏州狮山海外会议中心奏效举行。中科汇珠董事长宋华平受邀出席本次大会，进入碳化硅衬底与外延制造高层闭门会议，并在大会上作东题演讲：基于液相法的SiC材料研究认知，旨在答复液相法SiC材料的先进性和阛阓远景。 演讲围绕液相法SiC衬底和外延材料的推敲技能伸开，先容了液相法滋长SiC晶体的上风，尤其关节的是液相法能措置传统PVT法无法康健制备高质地p型衬底和3C-SiC衬底的技能繁